国产7nm芯片突现“第二极”？中芯之后，这家企业暗暗点亮了DUV光刻机的灯

最近翻几份国际科技媒体简报，无意扫到一句跟走马看花的话：“China’s second foundry reportedly achieved volume 7nm production using immersion DUV.”——没点名，没配图，就一转小字，像往茶水间扔了颗玻璃珠，叮当一声，水面下面却起了暗涌。

你可能也曾猜到了。不是中芯国际，但和它分享归拢派泥土、归拢批开导清单、归拢批本事老兵。它没开导布会，没发通稿，致使官网连一句“7nm”都没提。可供应链音尘层层下千里：某款AI加快卡流片班师，晶圆检测良率达到89.3%；某家头部末端厂商的下一代旗舰SoC，暗暗切进了它的MPW（多神气晶圆）排期表；更有东说念主在无锡新区的Fab厂门口，拍到印着“ASML XT:1980Di”编号的浸润式光刻机，正连夜吊装进洁净车间第三层。

这事真不稀有。中芯国际2022年用Nikon S635F+ASML TWINSCAN NXT:1980Di+多重曝光+鳍式结构优化+超厚硬掩膜，硬生生把7nm节点“拧”出来的时候，业内第一反馈不是饱读掌，是千里默三秒后问：“他们若何敢不等EUV？”——自后才明显，不是不敢，是等不起。而本事一朝被“解构”，就再也捂不住。工艺文档不是密码本，是菜谱；DUV光刻胶配比、蚀刻速度窗口、低k介质千里积厚度……这些参数，在深圳南山区一栋不起眼的写字楼里，早被一群平均年级34岁的工程师手抄过三遍。

28nm？早就不叫“分水岭”了。三年前台积电就把它划进“Legacy”产线，联电本年Q2财报里平直把22nm及以下一都归为“Specialty Technology”。委果卡脖子的，从来不是数字，幸运飞艇而是那条看不见的线：7nm以下，晶体管密度冲破1亿/mm²，单颗芯片能塞下230亿只开关；功耗压到每瓦算力22TOPS，AI测验卡散热模组终于无谓再加装袖珍水冷泵。

格芯还在14nm上打转，联电把主力押在28nm射频和电源贬责芯片。台积电7nm产能占内行68%，三星靠Exynos私用凑合撑住35%良率红线——而大陆这两家，一个在临港，一个在江阴，当今正用归拢套DUV光刻机，调不同的套刻精度、换不同的硬掩膜材料、试不同的互连层抛光有设想，把归拢张7nm蓝图，走出两条不访佛的路。

传奇上个月有家车企拿到首批流片芯片，跑通了L4级感知算法。板子没贴标，但焊点成列间距，和中芯南京厂流出的样品图，险些相同。

你细思，哪有什么遗迹。不外是有东说念主把显微镜调到最细，把曝光时辰算到少许点后四位，把凌晨三点的fab当自家客厅。光刻胶一滴，蚀刻液一泵，都是实打实的功夫。

隔邻工位新来的实习生，昨天问我：“敦厚，咱们真不买EUV了吗？”

我没谈话，指了指他电脑右下角的时辰——23:47。

洁净室那处幸运飞艇，黄光区的灯还亮着。

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